1. 招標條件

本招標項目深紫外光學元件超凈無損清潔設備 該項目已具備招標條件，現對深紫外光學元件超凈無損清潔設備進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250901A010

2.2 招標項目名稱：深紫外光學元件超凈無損清潔設備。

2.3 數量：1套。

2.4 項目簡介：該項目包含1套預清洗模塊，1套全自動清洗干燥模塊，1套超純水系統以及配套工裝治具等構成。

該清洗機主要由封閉式機架、清洗槽、超聲波、兆聲波、紫外臭氧、自動搬運機械手、循環管道、給排水管道以及電氣控制系統等組成。

2.5 交貨

2.6 交貨期：簽訂合同后3個月內具備最終驗收條件。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2投標人應提供關于半導體parts cleaning的供貨業績證明材料1份。注：合同內容應能體現甲乙雙方蓋章頁、合同簽訂日期、標的物名稱、項目建設內容等主要工作，未按上述要求提供的業績證明均不予認可。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4本次招標不接受代理商投標。

3.5投標人必須向招標代理機構

4.

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編輯：365trade