1. 招標條件

本招標項目12英寸非接觸式光刻機招標人為中國科學院上海技術物理研究所，招標項目資金來自國撥資金，出資比例為100%。該項目已具備招標條件，現對12英寸非接觸式光刻機進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250915A008

2.2 招標項目名稱：12英寸非接觸式光刻機。

2.3 數量：1套。

2.4 核心技術指標：

2.4.1 曝光光源：汞燈（i線）

2.4.2 最大光刻面積：≥8英寸

2.4.3 分辨率：優于0.5μm (正性光刻膠厚度1um)

2.4.4 套刻精度：優于±350nm @ 8英寸

2.4.5 曝光時間：≤120s @300mj（8英寸全片超過1.4億個多邊形結構）

2.4.6 掩模版下表面與芯片上表面之間距離不小于10mm

2.5 設備要求：非進口設備、全新、完整、未使用過

2.6 交貨地點：中國科學院上海技術物理研究所。

2.7 交貨期：合同生效后5個月內。

3. 投標人資格要求

3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2本次招標不接受代理商投標。

3.3本次招標不接受聯合體投標。

3.4其他要求：授權代表須提供投標截止時間前最近6個月中任意1個月社保證明文件（如果委托代理人的社保不是投標人繳納，需要提供委托代理人和投標人之間的用工合同，投標人委托第三方投保的有效合同證明）。

3.5投標人必須向招標代理機構購買招標文件才具有投標資格。

4. 招標文件的獲取

4.1凡有意參加投標者，請于2025年6月9日至2025年6月16日17時(北京時間)，登陸中招聯合招標采購平臺（網址：www.365trade.com.cn,注冊操作咨詢電話010-86397110）購買并下載招標文件，現場不予受理。

4.2 招標文件每套售價800元(從中招聯合招標采購平臺下載電子發票），售后不退。

5. 投標文件的遞交

5.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2025年7月1日9時00分，地點為上海市虹口區玉田路500號，十五號樓一樓會議室。

5.2逾期送達的、未送達指定地點的或者不按照招標文件要求密封的投標文件，招標人將予以拒收。

6. 發布公告的媒介

本次招標公告同時在中招聯合招標采購平臺和中國招標投標公共服務平臺上發布。

7. 聯系方式

招標人名稱：中國科學院上海技術物理研究所

地址：上海市虹口區玉田路500號

聯系人：陶鑫寧

電話：021-25051445

 

招標代理機構：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司

地址：北京市海淀區金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓

售賣聯系人：劉女士

電話：010-88529059

項目負責人：賈夢星

電話：010-68388750

傳真：010-88529153

電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com

2025年6月9日

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